一、行业挑战 / 温度控制
1、控温精度不足:传统设备在低温(如-15℃)工况下易出现温度回升现象,可能导致光刻胶形变或研磨液性能波动,影响工艺一致性。
2、效率低下:传统控温设备能耗较高,且控温精度不足,可能导致原料浪费与生产成本增加。
二、解决方案 / 普泰克技术突破
普泰克以供热主机单元、管路系统、二级介质温控系统、膨胀系统、智能控制系统为核心,构建覆盖半导体全流程的温度管理网络,为行业提供可靠的技术支持。
普泰克温控系统技术优势
1、变频技术与节能:采用变频技术,通过系统结构设计和自主控制算法,精准调节压缩机输出频率,满足制程需求的同时实现最低能耗。
2、全密闭式系统:全密闭设计,无油雾、无异味,导热液体使用寿命长。
3、快速加热与制冷:参与循环的导热液体少,加热和制冷速度快。独立的制冷与加热单元,精确控制温度变化,热惯性小,响应速度快。
4、模块化设计:结构紧凑,占地面积小,安装方便,移动便捷。
5、智能监控与诊断:流量、泵压、温度等参数可以同时监控设定和控制,运行状态实时显示,故障自动诊断,具备多项报警保护功能。
6、控制重复性与稳定性:基于高级动态控制系统,确保每次控制结果一致,提升生产稳定性。
7、自适应PID控制:自适应PID算法,适应不同环境和负载,无需调整参数,实现最佳温度控制。
三、核心产品 / 半导体温控Chiller
➤ 应用场景:光刻胶低温存储、CMP研磨液恒温供应
➤ 技术亮点:宽温域控制能力,支持高精度温度调节
四、为什么选择普泰克?
1、深耕半导体领域:服务半导体前、中、后道全流程工艺,覆盖八大核心制程设备。
2、定制化服务能力:依托模块化平台,提供标准化与个性化结合的解决方案。